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二维高分辨率MEMS微镜芯片及驱动ASIC模块研发项目

2021/01/07
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预算金额:面议
截止时间:2023-12-31
所在地区:福建省
所属行业: 芯片

待承接

需求概述

一、项目概述

MEMS是一个多学科交叉的领域,一个需要长期的技术积累和研发投入的行业。 二维高分辨率MEMS微镜芯片以及相对应的驱动ASIC模块构成了功能完整的MEMS执行器和传感器,是电子信息领域和数字光学的核心基础器件,其中二维高分辨率MEMS微镜芯片是行业公认的结构极为复杂和制造难度极高的MEMS器件, 函盖微机械加工、集成电路IC、光机电异质异构微纳封装、精密多功能测试等诸多领域,十分具有挑战性。 美国著名芯片公司德州仪器(TI)长期保持着产品独家垄断的局面,目前国内在该领域的研究仍处于空白状态。开展相关技术的研究在国内具有开创性,在国际上也是MEMS应用研究的前沿。

技术优势

该项目是开展二维高分辨率MEMS微镜芯片及驱动ASIC的技术研发。项目团队核心成员具有在世界一流芯片公司 (IntelTI ) 多年的芯片研发和产业化经验,具有国外成功研发和制造二维高分辨率MEMS微镜芯片和驱动ASIC模块的第一手实际经验。目前项目与清华大学、中科院微电子所、上海微技术研究院、华虹等单位在器件设计、制造、封装等方面开展了项目主导的合作,已经取得了晶圆级大于10万像素MEMS微镜阵列偏置转动的MEMS功能测试阶段性结果,达到国内顶尖水平。该项目的实施对解决二维高分辨率MEMS微镜芯片的关键核心技术问题、填补我国MEMS行业技术空白、实现其国产化和产业化,具有非常重大的意义。

应用范围

随着物联网及人工智能领域的快速发展,MEMS将是传感器和执行器的主流技术。基于MEMS微镜芯片的产品有四主要应用领域:激光照明、激光显示激光成像激光通讯。激光照明领域有智能汽车激光大灯,智能城市、商务及民用激光照明等;激光显示领域主要有激光投影电视、数字影院、汽车抬头显示HUD、增强现实AR;激光成像(扫描成像)主要用在激光雷达LIDAR)、3D摄像头、医疗成像等领域激光通讯主要指光分插复用器、光开关光栅等。

市场状况及市场预测

智能汽车激光照明是继LED照明之后的新一代照明技术,车灯是汽车智能化的重要组成部分。二维高分辨率MEMS微镜芯片是汽车智能激光照明的核心器件,具有高分辨率,低能耗和小体积的优势。预期成本下降后渗透率会迅速扩大, 产值年复合增速达>200%,2025年成为中级车的标准配置, 潜在市场规模高达数千万套,智能汽车激光照明在未来几年将达到数百亿元的·产业规模;激光雷达是智能驾驶感知体系中最重要的传感器,基于MEMS的固态激光雷达是业界公认的激光雷达发展趋势,中金公司预测2016-2025年激光雷达市场规模年复合增速为48%,将达到84亿美元;二维MEMS微镜芯片可用于虚拟现实(VR和增强现实(AR的显示器件中,VR/AR已被列入十三五信息化规划,全球虚拟现实产业规模接近千亿元人民币,2017-2022年均复合增长率超过 70%。据 Greenlight 预测,2020 年全球虚拟现实产业规模将超过2000亿元,其中VR市场1600亿元,AR市场450亿元。

研究所处阶段

项目计划在3年内掌握具有自主知识产权的二维高分辨率MEMS微镜芯片及驱动ASIC的核心技术,研制产品原型(Prototype),并同步开展新型应用研究,力争在5年内开拓新型应用领域, 走出一条独立自主的产业化道路整个项目将分三个子项目分别开展研发工作:

1. 二维高分辨率MEMS微镜芯片功能验证(Demo主要包括MEMS芯片设计、底板集成电路设计和制造、MEMS芯片制造和与底板集成电路的集成工艺、器件封装和测试。

2. 基于二维高分辨率MEMS微镜芯片且与半导体激光器集成的产品原型Prototype主要包括:新型产品架构设计、定制化MEMS微镜芯片和驱动ASIC的设计和制造、搭建与半导体激光器集成的二维高分辨率MEMS微镜芯片及驱动ASIC系统级参考测试平台(reference platform

3. 新型应用系统同步开展器件开发产品设计应用验证,进行“器件-产品-应用”的循环迭代面向小批量、多品种、定制化的细分市场,开拓和探索新的应用领域。根据实际需求实现两种基于二维高分辨率MEMS微镜芯片的具体应用实验验证

投资规模与预期经济效益

项目自立项之日项目执行期5项目预期投入总经费8000元,拟全额申请级财政专项经费。预算构成简要说明如下:按费用科目口径:人员费用约2800万元、占35%;测试化验加工费(含流片验证费用)约3250万元、占40.6%,设备购置费1000万元、占12.5%;以上三项主要费用约占总预算的88%。按研发内容口径:原型验证方面预算约1000万元、产品中试方面预算约3700万元、应用研究方面预算约500万元,人员费用2800元,合计8000万元。

合作方式

任何双方协商同意的方式。

联系方式

清华海峡研究院科技创新部  电话0592-5776165


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